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高純鈦靶材的應用

點擊量:466  更新時間:2019/9/17

眾所周知,純度是靶材的主要性能指標之一,在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。高純鈦靶材的應用相比一般的工業純鈦,高純鈦價格昂貴,應用范圍較窄。主要用來滿足一些特殊行業的使用。那么高純鈦靶材的主要應用有哪些呢?

高純鈦靶材的應用主要有:

1、生物材料
鈦是無磁性金屬,在很強的磁場中也不會被磁化,且與人體有良好的相容性,無毒副作用,可以用來制造人體植入器件。一般醫用鈦材并沒有達到高純鈦的級別,但是考慮到鈦中不純物的溶出問題,植入件用鈦的純度應盡可能的高。高純鈦絲可用做生物捆扎材料。此外,內埋導管的鈦制注入式針頭也達到了高純鈦級別。

2、裝飾材料
高純鈦具有優異的耐大氣腐蝕性能,在大氣中長期使用也不變色,保證鈦原有的本色。因此高純度鈦還可以用做建筑裝飾材料。此外,近年來部分高檔裝飾品以及部分佩戴物,如手鏈、手表及眼鏡架等用鈦制作利用了鈦耐腐蝕、不變色、能長久保持良好的光澤以及與人體皮膚接觸不致敏等特性。某些裝飾品用鈦的純度已經達到5N級別。

3、吸氣材料
鈦作為一種化學性質非;顫姷慕饘,在高溫下可與許多元素和化合物發生反應。高純鈦對活性氣體(如O2,N2,CO,CO2,650℃以上的水蒸氣)的吸附性很強,蒸發在泵壁上的Ti膜可形成一個高吸附能力的表面,這一性質使得Ti在超高真空抽氣系統中作為吸氣劑而得到廣泛的應用。如用在升華泵、濺射離子泵等,可使濺射離子泵的極限工作壓強低至10-9Pa。

4、電子信息材料
近年來,隨著半導體技術、信息技術等高科技領域的快速發展,高純鈦在濺射靶材、集成電路、DRAMs和平板顯示器等方面的用量越來越大,對鈦材的純度要求越來越高。在半導體超大規模集成電路行業,控制電極采用鈦硅化合物、鈦氮化合物、鎢鈦化合物等作為擴散阻擋層和配線材料。制造這些材料采用濺射法,而濺射法用的鈦靶材對純度要求很高,特別是對堿金屬元素和放射性元素要求含量極低。

近年來,其與之相配的濺射設備也開始使用與濺射鈦靶材同等純度的高純鈦。目前,對于4兆位的超大規模集成電路,要求鈦的純度達到4N5(99.995%)~5N(99.999%)級,而16兆位的第三代超大規模集成電路則要求鈦的純度達到6N(99.9999%)級。
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