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鉬鈮合金靶材加工工藝步驟

點擊量:311  更新時間:2019/9/20

近年來,作為LCD(液晶顯示)、PDP(等離子顯示)等平面顯示器的電極和配線材料的鉬系合金靶越來越受到人們的關注。鉬鈮靶材正是在此種認知基礎上最早被大批量運用的鉬合金靶材材料。隨之,鉬鈮旋轉靶材的市場需求日益增加。

鉬鈮靶材中通常鈮含量為5%或10%,通常用燒結方法制作,因鈮在燒結過程中有明顯的吸氫現象,通常在真空燒結設備中完成。但傳統的制作方法生產出來的鉬鈮靶材無法滿足飛速進步的平面顯示器行業的質量要求。

鉬鈮合金靶材加工工藝步驟:

鉬鈮合金板的加工工藝步驟是首先進行混合,將定量鉬粉與鈮粉各分為至少三小份,然后每小份鉬粉與鈮粉再分別混合成小份混合粉,每小份混合粉經過多次混合和過篩后,多個小份混合粉再合成為混合合金粉。

然后是成型,經過等靜壓壓成合金坯,進入高溫中頻爐在氫氣保護下燒結,燒結的溫度分為三個溫區:0-800℃、800-1600℃、1600-2000℃,每個溫區至少要燒結3小時,最終燒成合金坯狀。

接著進行鍛造和軋制,經過1200-1400℃高溫鍛造制密后,進入高溫爐1500-1600℃的加熱溫度進行軋制成備料規格的板材,最后進行精加工,經過切割、精磨、機加成為鉬鈮合金板板材成品。
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