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鈦鋁合金靶材制作方法介紹

點擊量:499  更新時間:2019/10/16

金屬靶材是指用在高速荷能粒子轟擊的目標材料。并且通過更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。而隨著時代的發展,越來越多新興材料的出現靶材的大家庭中同樣也迎來了以為新的成員——鈦鋁合金靶材。

鈦鋁合金靶材既是使用鈦鋁合金為原材料制作的靶材。一般情況下呈銀白色,具有強度高、熔點高等多種優勢。那么鈦鋁合金靶材制作方法是什么?

迄今為止,全世界各大靶材制造公司,對于鈦鋁合金靶材制作方法通常都采用這兩種。一種是先使用鑄造法制作鑄錠后,在進行鍛造過程進行靶材的制作;另一種則是以噴覆成型的方式去制作鈦鋁合金靶材。而就種方法而言目前已知的鑄造和鍛造的方法在制作鋁合金濺射靶材的過程中,經常會因為添加合金元素這一重要步驟而使得鋁合金靶材產生偏析現象,從而導致了濺鍍所得的薄膜品質不高,且濺鍍靶的表面容易產生微顆粒,影響薄膜性質的均勻性。而第二種的噴覆成型方式制作的鈦鋁合金靶材雖然可以避免上述的種種情況,但是卻會使得靶材的制作成本大幅的提高,尤其是在制作一些不容易被鍛造方式而必須采用熱均壓的靶材時,其成本還會因為使用熱均壓的提高而在此提高。

除了以上兩種常規的鈦鋁合金靶材制作方法,今天小編給大家普及一種制作過程簡單且成本很低的制作方法——以氣噴粉末制作鈦鋁合金靶材。

氣噴粉末鈦鋁合金靶材制作方法介紹:

1、主要原理
這種方法的主要原理是指以氣噴法依合金的成分配比制作靶材的原料粉末;然后再將該合金粉末予以篩分,使得到適當的粉末粒徑;隨后使用得到的粉末進行真空熱壓,使其成型再制作成靶材。

2、主要優勢
而這種制作方法的優勢在于可以用于制作各種不同的鋁合金靶材如鋁、鉻;鋁、硅、銅;鋁、鈦;等等。其次此方法能夠避免產生材料偏析和微顆粒的缺點,并能夠更快速更經濟的制作品質更高的鈦鋁合金靶材。

3、實施步驟
該方法的正確實施步驟為,首先提供制作鋁合金靶材的金屬原料;隨后將這些金屬原料熔融成金屬溶液;接著再以氣噴法將金屬溶液制作成金屬粉末狀;然后,再以真空熱壓的方式將該金屬粉末壓成型制作成靶材,并通過惰性氣體作為保護氣體。
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