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銅背板

背板材料的選擇需考慮以下因素:
背板材料和靶材的熱傳遞性;
導電性;
抗冷卻水壓的機械性能及熱循環效果;
重復利用性。

背板的作用:
在濺射過程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料;
在濺射過程中起到熱傳遞的作用。

我司目前可以提供以下背板材料:
無氧銅背板
無氧銅背板為使用最廣發的背板,其具有良好的導熱性和導電性,且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。
鉬背板
鉬背板適用于高溫綁定,然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當銅背板與靶材的熱膨脹系數不匹配時,鉬背板可與一些熱膨脹系數小的靶材匹配。
不銹鋼背板
不銹鋼背板通常適用于旋轉靶的背管,成本較低且可回收利用。

此外,我公司也可生產鈦背板,銅鋅合金背板和銅鉻合金背板等等。

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